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1. 光刻机出现时间？

1、光刻机出现时间？

1961年推出第一台光刻机，型号：第一代971型号。

早在1961年，David Mann公司就已经在市场上推出了一台光刻机。这台机器有些瑕疵，但在当时足以用来制造晶体管。使David Mann公司加快发展步伐的不是工程师和学者，而是数十名客户用他们的具体问题促使精密仪器工程师去改进机器。

公司：David Mann（被GCA收购成为其子公司）

价格：30000美金

时间：1961年

型号：第一代971型号，1962年推出了1080型

名称： Photorepeater（重复曝光机）

精度：1微米（1纳米的1千倍）

特点：需要人不断手动操作调节来实现准确定位。

光刻机问世六十多年了。

1961年，美国GCA公司制造出了第一台接触式光刻机。顾名思义，接触式光刻机，就是简单粗暴地将光掩模盖在硅片上，光掩模与光刻胶图层直接接触，再打光照射，直接曝光，类似于照相机。中国也是六十年代中期由中科院制造出第一台国产光刻机的。而再往前推，1822年法国人尼埃普斯发明了光刻原理。

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